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光刻胶半导体材料股票

小乐剧情 2023-11-11 05:09 477 127条评论
光刻胶半导体材料股票摘要:硅片清洗烘干(Cleaning and Pre-Baking) 方法:湿法清洗+去离子水冲洗+脱水烘焙(热板150~2500C...涂底(Priming) 方法:a、气相成底膜的热板涂底.HMDS蒸气淀积,200~2500C,30秒钟;优点:涂底均匀、避免颗粒污染...旋转涂胶(Spin-on PR Coating) 方法:a、静态涂胶(Static).硅片静止时......

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光刻工艺:与小时候玩的“日光照相”原理相似,光刻包括曝光装 半导体制造工艺基础[M]. 安徽大学出版社, 2007.

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